마그네트론 스퍼터링 (1) 썸네일형 리스트형 PVD 엔지니어가 알려주는 박막 코팅의 심층 탐구(3) - 스퍼터링(Sputtering) 공정의 이해와 반도체 응용 이번 포스팅은 스퍼터링 공정에 대한 이해와 반도체 응용을 알아보겠습니다. 지난 시간에 알아본 아크 이온 플레이팅 공정에 이어 스퍼터링 공정의 기본 메커니즘과 각각의 기법 그리고 마그네트론 스퍼터링의 원리와 각 응용 분야를 이해해 보며 반도체 제조와 같은 PVD 코팅 산업군의 핵심 기술 역량을 습득해 보겠습니다. 목차1. 스퍼터링(Sputtering) 공정이란?2. 스퍼터링 공정의 기본 원리 2-1. 주요 스퍼터링 기법 2-2. 마그네트론 스퍼터링의 원리와 응용3. 스퍼터링 공정의 중요 파라미터 3-1. 스퍼터링 공정의 응용 분야 3-2. 스퍼터링 공정의 장단점 3-3. 스퍼터링 타겟 물질의 중요성 1. 스퍼터링(Sputtering) 공정이란?스퍼터링(Sputtering)은 물.. 이전 1 다음
